超大規(guī)模集成電路制造過程中要反復用到的濺射(Sputtering)工藝屬于物理氣相沉積(PVD)技術的一種,是制備電子薄膜材料的主要技術之一,它利用離子源產(chǎn)生的離子,在高真空中經(jīng)過加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。
高純?yōu)R射靶材行業(yè)屬于電子材料領域,其產(chǎn)業(yè)鏈上下游關系如下:
高純金屬及濺射靶材是電子材料的重要組成部分,濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等環(huán)節(jié),其中,靶材制造和濺射鍍膜環(huán)節(jié)是整個濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈中的關鍵環(huán)節(jié)。
在全球范圍內(nèi),濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)參與企業(yè)數(shù)量基本呈金字塔型分布,高純?yōu)R射靶材制造環(huán)節(jié)技術門檻高、設備投資大,具有規(guī)?;a(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量相對較少,主要分布在美國、日本等國家和地區(qū),其中,部分企業(yè)同時開展金屬提純業(yè)務,將產(chǎn)業(yè)鏈延伸到上游領域;部分企業(yè)只擁有濺射靶材生產(chǎn)能力,高純度金屬需要上游企業(yè)供應。
齊岳生物提供的金屬靶材產(chǎn)品按元素分類:
1.鈧元素(Sc):主要產(chǎn)品有高純金屬鈧、金屬鈧靶材、2%Sc-AL合金、20%Sc-Al合金、2%Sc-Mg合金,10%Sc-Mg合金,2.15%Sc-8.8%Ni-8.8%Gd-1.5%Gd合金和其它鈧合金、靶材等.
2.釔元素(Y): 主要產(chǎn)品有工業(yè)純度金屬釔、高純度金屬釔、金屬釔靶材、釔鋯合金、釔鋁合金、釔鎂合金和其它釔合金、靶材等.
3.鑭元素(La): 主要產(chǎn)品有工業(yè)純度的金屬鑭、金屬鑭靶材、鑭鎳合金、鑭鈰合金、鑭鋁合金及其它鑭合金、靶材等.
4.鈰元素(Ce): 主要產(chǎn)品有工業(yè)純度的金屬鈰、金屬鈰靶、鈰-鋁合金、鑭-鈰合金及其它鈰合金、靶材等.
5.鐠元素(Pr): 主要產(chǎn)品有工業(yè)純度的金屬鐠、金屬鐠靶材、鐠-釹合金及其它鐠合金、靶材等.
6.釹元素(Nd): 主要產(chǎn)品有工地純度金屬釹、金屬釹靶材、釹-鐵合金、鑭鈰鐠釹合金及其它釹合金、靶材等.釤元素(Sm): 主要產(chǎn)品有高純度金屬釤、金屬釤靶材、釤-鈷合金及其它釤合金、靶材等.
7.銪元素(Eu): 主要產(chǎn)品有高純金屬銪.
8.釓元素(Gd): 主要產(chǎn)品有工業(yè)純度的金屬釓、高純度的金屬釓、金屬釓靶材、釓鐵鈷合金、釓鈦鋯合金、釓鈦合金及其它釓合金、靶材等.鋱元素。
包裝及保存說明
1.出庫包裝:內(nèi)部真空袋真空包裝,外部為定制產(chǎn)品靶材盒,紙箱快遞運輸
2.儲存方法:收到產(chǎn)品后,需儲存于干燥環(huán)境,密封包裝,輕拿輕放,防壓防撞
3.使用注意:使用前觀察靶材表面是否清潔,帶上干凈的手套操作, 避免直接用手接觸物料,勿被油污等異物污染
小編:axc
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