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突破!IBM宣布已經(jīng)制造出全球首顆2nm EUV芯片!

藍(lán)色巨人出手就是王炸。

5月6日消息,IBM宣布造出了全球第一顆2nm工藝的半導(dǎo)體芯片。

核心指標(biāo)方面,IBM稱(chēng)該2nm芯片的晶體管密度(MTr/mm2,每平方毫米多少百萬(wàn)顆晶體管)為333.33,幾乎是臺(tái)積電5nm的兩倍,也比外界預(yù)估臺(tái)積電3nm工藝的292.21 MTr/mm2要高。

2nm晶圓近照

換言之,在150平方毫米也就是指甲蓋大小面積內(nèi),就能容納500億顆晶體管。

同時(shí),IBM表示,在同樣的電力消耗下,其性能比當(dāng)前7nm高出45%,輸出同樣性能則減少75%的功耗。

實(shí)際上,IBM此前也是率先造出7nm(2015年)和5nm(2017年)芯片的廠商,在電壓等指標(biāo)的定義上很早就拿下主導(dǎo)權(quán)。

回到此次的2nm上,采用的是GAA(環(huán)繞柵極晶體管)技術(shù),三層。IBM介紹,這是第一次使用底介電隔離通道,它可以實(shí)現(xiàn)12 nm的柵長(zhǎng),其內(nèi)部間隔是第二代干法設(shè)計(jì),有助于納米片的開(kāi)發(fā)。這也是第一次使用EUV曝光FEOL部分過(guò)程。

需要注意的是,IBM并沒(méi)有自己的晶圓廠,2014年其制造工廠賣(mài)給了格芯,但兩者簽署了10年合作協(xié)議,另外,IBM也和三星、Intel保持合作。

關(guān)于GAA晶體管技術(shù),三星3nm、Intel 5nm以及臺(tái)積電2nm均將首次采用。

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