光學(xué)塑料以其性能優(yōu)異、質(zhì)量輕、容易加工成型、不腐蝕及價格低廉等特點，越來越廣泛地應(yīng)用于日常生活、工業(yè)及科研等領(lǐng)域。而為了提高光學(xué)光學(xué)塑料的性能，光學(xué)塑料的鍍膜倍受人們的重視。在鍍膜技術(shù)中，以真空鍍膜技術(shù)在塑料制品的應(yīng)用上最為廣泛。
通過真空鍍膜技術(shù)，使得在塑料表面沉積一層單質(zhì)金屬層，使其具有表面亮麗、金屬感強，提高光學(xué)塑料的使用性能。在光學(xué)塑料表面鍍制的單質(zhì)金屬膜，常發(fā)生膜層與基片的附著力差，特別是在磁控濺射中，鍍制鋁膜，最常見的質(zhì)量的問題是：脫膜、膜層附著力差等，這直接影響到鍍膜塑料的應(yīng)用。本文從光學(xué)塑料的特性出發(fā)，通過薄膜附著力理論分析，提出在工藝上改進(jìn)鋁膜附著力的方法。
1、光學(xué)塑料的特性
光學(xué)塑料的種類很多，最常用的有：聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚碳酸酯(PC)和聚苯乙烯(PS)等。一般，光學(xué)塑料作為鍍膜基體材料有如下的一些特性。
光學(xué)塑料的耐熱性相對于金屬或玻璃差，吸水率高，使得沉積溫度受到限制。其次，光學(xué)塑料具有低的表面能，介電性能高，摩擦后易產(chǎn)生靜電，這樣使得表面容易吸附灰塵。塑料表面的清潔程度直接影響到膜層與基片的附著力。此外，光學(xué)塑料的熱膨脹系數(shù)大，如塑料的熱膨脹系數(shù)要比金屬大一個數(shù)量級，在成膜過程中或成膜后，由溫度變化產(chǎn)生熱應(yīng)力，如果應(yīng)力過大會導(dǎo)致膜層開裂甚至脫落現(xiàn)象。
2、薄膜的附著機(jī)理
薄膜附著力是膜層與基板或膜層與膜層之間的鍵合力或鍵合強度，其單位是單位面積上的力或能。根據(jù)附著力產(chǎn)生的原可以分為物理吸附與化學(xué)吸附兩類。物理吸附能的作用范圍通常在0.05～0.5eV，它主要是由范德華力和靜電力所引起的，而化學(xué)吸附能則在0.5～l0eV之間，其作用力在l0的6次方N/平方厘米以上。主要是當(dāng)基板與薄膜原子之間發(fā)生位移或交換時，產(chǎn)生很強的化學(xué)吸附鍵合力。其中化學(xué)吸附可分為3種類型：(1)由兩相鄰材料之間發(fā)生了化學(xué)反應(yīng)所引起的附著力；(2)由擴(kuò)散所引起的附著力。這是兩種材料接觸而存在濃度梯度時，引起向?qū)Ψ綌U(kuò)散各自的原子，這樣必然引起原子之間的作用力；(3)“類擴(kuò)散”所引起的附著力。這是由于原子具有較大的動能，當(dāng)沖擊基片的時候打入基片而引起的“類擴(kuò)散”。可見，由化學(xué)吸附引起的附著力比物理吸附要大得多。
從能量角度來講，將單位面積的薄膜從其基片上剝離下來所需要做的功即是薄膜附著力的量度。因此，薄膜、基片的表面能越高，薄膜基片的界面能越低，則薄膜的附著力也就越高。
3、影響附著力的因素
(1)基片表面粗糙度和結(jié)構(gòu)缺陷對薄膜附著力的影響很大，一般，塑料板材的粗糙度較大，雖然其表面與薄膜易形成機(jī)械咬合界面，但是由于塑料本身結(jié)構(gòu)比較疏松，常含有易揮發(fā)的低分子物，而在真空狀態(tài)下這些低分子物更容易揮發(fā)，這樣不僅增加真空系統(tǒng)的負(fù)擔(dān)，同時這些低分子物與鍍膜材料發(fā)生反應(yīng)，其生成物會降低膜層的附著力。所以，存鍍膜前，光學(xué)塑料板材一般要經(jīng)過硬化處理的。否則，如果直接鍍上一層單質(zhì)金屬薄膜，這樣常導(dǎo)敏金屬薄膜不連續(xù)，不光滑，表面金屬感莘。光學(xué)塑料在真空室的放氣量，尤其是在受到輻射熱時的放氣量要比玻璃材料的大很多倍。為_r提高光學(xué)塑料表面硬度，改善膜層與光學(xué)塑料基片的粘結(jié)性能，應(yīng)在光學(xué)塑料上鍍1～1Oum厚度的過渡層。用于磁控濺射鍍膜的光學(xué)塑料的過渡層一般是有機(jī)材料，與板材形成結(jié)合牢固的硬膜層，從而光學(xué)塑料板材能夠應(yīng)用于實際工業(yè)生產(chǎn)。經(jīng)過硬化處理的光學(xué)塑料，雖然表面光潔，放氣量減少，但是相對丁玻璃、金屬等放氣量還是很大的，而在沉積區(qū)域溫度較高，達(dá)使得低分子物揮發(fā)量更大，因此，在濺射鍍膜中，在合理的范圍內(nèi)，應(yīng)該提高基片的走速，使得光學(xué)塑料板材少沉積區(qū)域較高溫度的影響，減少放氣量，這樣有利于膜層與基片的附著力。
(2)光學(xué)塑料表面的清潔度是影響薄膜附著力的重要因素。如果表面的清潔度不好的話，其表面會有一個污染層，它會使得基片表面的化學(xué)鍵達(dá)到飽和，沉積薄膜后，其影響到薄膜的附著力。同時光學(xué)塑料易產(chǎn)生靜電和吸水率高，減低其表面的界面能。所以，鍍膜前對基片的表面清潔處理是非常重要的。
(3)鍍膜室的本底真空度和工作真空度也是影響薄膜附著力的重要因素。在薄膜附著力中，由化學(xué)吸附引起的附著力比物理吸附要大得多，而真空鍍制的薄膜與光學(xué)薄膜的表面鍵合主要是擴(kuò)散型和類擴(kuò)散型。為此，應(yīng)使得的濺射粒子具有大的動能和能量去轟擊塑料板材，提高粒子與光學(xué)塑料表面的結(jié)合能。同時由于真空室里的殘余氣體大多數(shù)為水蒸汽、油蒸汽、氫氣、一氧化碳等，殘余氣體的種類不同，會對塑料表面造成不同的污染，其中水蒸汽千¨油蒸汽對薄膜的附著力危害很大。所以在鍍膜時，在合理范圍內(nèi)，應(yīng)取高的本底真空度和工作真空度，盡量減少殘余氣體對薄膜附著力的影響。
| 樣品序號 | 本底真空度(Pa) | 工作真空度(Pa) | 基片速度(m/min) |
| 1 | 9.0xE-3 | 7.0xE-1 | 0.7 |
| 2 | 9.0xE-3 | 5.0xE-1 | 0.9 |
| 3 | 9.0xE-3 | 3.0xE-1 | 0.7 |
| 4 | 9.0xE-3 | 3.0xE-1 | 0.9 |
| 5 | 9.0xE-3 | 3.0xE-1 | 1.4 |
| 6 | 6.0xE-3 | 3.0xE-1 | 0.9 |
| 7 | 5.0xE-3 | 3.0xE-1 | 0.9 |
| 8 | 5.0xE-3 | 3.0xE-1 | 1.4 |
| 9 | 4.0xE-3 | 3.0xE-1 | 1.4 |
表 1 不同工藝參數(shù)下鍍Al膜
4、實驗及附著力測試
本文主要是針對已經(jīng)經(jīng)過表面硬化處理的光學(xué)塑料(PMMA)進(jìn)行真空鍍單質(zhì)金屬鋁膜。本文采用的是磁控濺射鍍膜方式，具有“低溫”、“高速”的特點。設(shè)備中的泵組為機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵。鍍膜前，先存凈化對經(jīng)過硬化處理的PMMA板材表面先進(jìn)行超聲波清洗，主要目的是去除基片表面的灰塵1可能殘留的油漬等異物，并且不含有活性離子，然后用離子風(fēng)槍吹凈基片表面，即用強離子風(fēng)清除物體表面的靜電及異物、塵埃等，之后將處理好的板材放進(jìn)真空室中。抽真空度到預(yù)定的本底真空度，充入Ar氣使得真空度達(dá)到需要的工作真空度。根據(jù)調(diào)劑不同的工藝條件對PMMA板材鍍制單質(zhì)金屬鋁膜(約l2nm)。
為了容易識別各種不同參數(shù)下鍍制的樣品，我們給于每次實驗的樣品標(biāo)于相應(yīng)的序號，并且．對每次實驗鍍制的樣品進(jìn)行附著力測試。目前，薄膜附著力的測試方法主要有壓痕法，拉張法以及剝離法等，本文采用的是剝離法的一種，先對用百格刀對薄膜劃出百格，再用3M膠帶用力粘附，膠帶垂直拉起，這樣反復(fù)五次，看薄膜的脫落情況，如果脫落的薄膜小于5％部分，則該薄膜的附著力達(dá)到很好的效果。從測試的結(jié)果來看，從對樣品l～9的測試中，薄膜的附著力總地來說是越來越好，但是成品l～5的測試中，薄膜的附著力較差，遠(yuǎn)達(dá)不到脫落的薄膜小于5％部分，而在6～9中，薄膜的附著力好，達(dá)到脫落的薄膜小于5％部分的要求。從測試的結(jié)果來看，本底真空度是鋁薄膜附著力的主要影響因素，在一定范圍內(nèi)，本底真空度越高，鋁附著力越好；基片速度以及工作真空度對薄膜附著力也起到一定的影響，速度快工作真空度低，有利與薄膜的附著力。鍍膜真空室抽至本底真空度時，主要的殘余氣體是水蒸汽和油蒸汽，幾乎沒有氧氣和氮氣。在真空狀態(tài)下，殘余氣體不斷撞擊基片表面，如約在l0-4Pa的高真空狀態(tài)下，殘余氣體分子不斷撞擊固體表面，而被固體表面捕獲構(gòu)成一層分子層需要的時間約為1S。作者認(rèn)為除了鋁薄膜材料與光學(xué)塑料板材(PMMA)固有的特性外，殘余氣體是影響鋁薄膜附著力的主要因素，特別是殘余氣體中的水蒸汽和油蒸汽。再者，光學(xué)塑料板材的吸水率大，這樣會降低光學(xué)表面的活力，對鋁薄膜與PMMA板材的結(jié)合有不利的影響。真空度越高，殘余氣體越少，相應(yīng)的水蒸汽和油蒸汽越少；基片運行速度快，相應(yīng)基片受到沉積區(qū)域的溫度影響少；工作真空度(實用的濺射工作壓強約為0.3～0.8Pa)越底，分子平均自由程越高，濺射原子達(dá)到基片時具有的能量越高。所以在光學(xué)塑料板材上鍍制單質(zhì)金屬鋁薄膜時，第一，基片鍍前進(jìn)行前處理，使得基片具有好的清潔度，防止塑料板才表面產(chǎn)生靜電，增加其表面活性，這對后續(xù)鍍制的薄膜與基片的附著力有很大影響。第二，根據(jù)設(shè)備，在一定合理的范圍內(nèi)，選擇高本地真空度和工作真空度以及大的基片運行速度，這對薄膜與光學(xué)塑料板材的附著力無不有好處。再者，有條件的話，可以把鍍制好的薄膜進(jìn)行退火處理，使得膜層與基片間的各種應(yīng)力得到調(diào)整，品格排列規(guī)則，使得薄膜處于穩(wěn)定狀態(tài)，這樣有利于提高薄膜的附著力。當(dāng)然，如果在濺射裝置的抽氣系統(tǒng)上配置分子泵或低溫蹦泵等解決返油現(xiàn)象，這對鍍制薄膜的附著力是很有好處的。
5、結(jié)語
在光學(xué)塑料表面鍍制的單質(zhì)金屬膜，常發(fā)生膜層與基片的附著力差，特別是在磁控濺射中，鍍制鋁膜。本文光學(xué)塑料的特性出發(fā)，通過薄膜附著力理論分析，提出在工藝上改進(jìn)鋁膜附著力的制備工藝。鍍膜前，先對光學(xué)塑料表面超聲清洗，然后離子風(fēng)槍吹凈，使得清潔和去靜電的作用，在一定合理的范圍內(nèi)，選擇高本地真空度和工作真空度以及大的基片運行速度，這樣可以達(dá)到提高薄膜與光學(xué)塑料板材的附著力。通過實驗證明其方法的可行性。
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