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為什么BAW濾波器要做成半導(dǎo)體基?

體聲波(BAW)濾波器的工作原理最常被與聲表面波(SAW)濾波器放在一起比較。如下圖所示,兩者的主要構(gòu)成都是壓電材料與金屬電極,因?yàn)檫@類器件的基本原理就是應(yīng)用壓電材料在變化電場中形變、震動(dòng)所產(chǎn)生的聲波諧振來實(shí)現(xiàn)濾波功能。

同時(shí),因?yàn)镾AW濾波器在我國是作為已裝配的壓電晶體歸類的,故看上去同由壓電材料和電極構(gòu)成的BAW濾波器也往往會(huì)適用相同的思路被歸在稅則號(hào)列8541.6000。

然而,濾波器的諧振頻率取決于壓電材料的尺度,因此不同于用在較低頻段的SAW濾波器,隨著BAW濾波器適用頻率的升高,要求壓電材料的厚度越來越薄,則其結(jié)構(gòu)強(qiáng)度和制作難度也越來越受限,所以就需要把這個(gè)包含壓電材料和電極的基本結(jié)構(gòu)制作在一個(gè)基板上。又因?yàn)槟壳爸髁鞯腂AW濾波器都采用硅襯底作為基板,于是就出現(xiàn)了“半導(dǎo)體基”的BAW濾波器。

制作在襯底上的BAW濾波器包含兩個(gè)主要的類型——固態(tài)裝配諧振器(SMR)和薄膜體聲波諧振器(FBAR)——后者是2022版85.41品目注釋新增部分“半導(dǎo)體基諧振器”下具體列舉的商品。同時(shí),2023年關(guān)稅調(diào)整方案也是將暫定稅商品“半導(dǎo)體基濾波器”列于稅則號(hào)列8541.5140,即視其為一種半導(dǎo)體基換能器。

但如前所述,BAW濾波器中實(shí)現(xiàn)濾波的是壓電材料的部分,采用硅襯底只是基于器件強(qiáng)度和工藝的考慮,故理論上也可制作在其他材料(例如,玻璃)之上,而如此就與注釋關(guān)于“半導(dǎo)體基片或材料在換能器功能中起到不可替代的關(guān)鍵作用”的描述矛盾了。

換言之,現(xiàn)行85.41品目注釋對(duì)于半導(dǎo)體基換能器的整體描述與具體列舉的商品范圍之間看上去是存在某種程度的沖突的,故建議對(duì)有關(guān)商品的列目原意予以審查,以消除注釋條款中任何潛在的可能影響商品歸類之客觀、準(zhǔn)確和統(tǒng)一性的因素。



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