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鈦鋁合金是一種真空鍍膜用合金濺射靶材，在該合金中通過調(diào)配鈦與鋁的含量可以獲得不同特性 的鈦鋁合金靶材。鈦鋁金屬間化合物屬于硬脆材 料，具有很好的耐磨性，在普通刀具表面覆著一層鈦 鋁金屬間化合物，可以有效延長刀具的使用時間。

   濺射合金靶材需要滿足純度、致密度、晶粒度、表面光潔度等要求。其中純度、致密度及晶粒度 與靶材制備工藝直接相關(guān)。金屬合金制備通常采用的普通熔煉法。但鈦鋁合金的制備不適于采用該方法，主要原因如下：

(1) 鈦鋁合金熔煉過程易形成多種金屬間化合物，如 Ti3A1、TiAl、TiAl2、TiAl3等，這些金屬間化合物的存 在導致鈦鋁合金的加工脆性，特別是當合金中鋁含 量超過50％(原子比)，該問題尤為明顯；

(2)熔煉工 藝制備鈦鋁合金靶材，澆注過程中易產(chǎn)生氣泡、疏松 和偏析，造成合金中成分與組織不均勻，導致靶材品 質(zhì)不穩(wěn)定蚓6。

目前鈦鋁合金濺射靶材的主要制備技術(shù)有：強 電流加熱法、熱等靜壓燒結(jié)法、熱壓燒結(jié)法。 

1.強電流加熱法 

該法采用可獲得大電流的裝置， 利用大電流使鈦粉和鋁粉發(fā)熱，施以壓力，使鋁和鈦 自身反應形成鈦鋁合金靶材。該法制備得到的鈦鋁合金靶材產(chǎn)品的致密度 >99％，晶粒尺寸≤100微米，純度>99％。

2.熱等靜壓燒結(jié)法

該法將鈦粉和鋁粉進行混料，然后 經(jīng)過裝粉和冷等靜壓預壓制、脫氣工藝后再進行熱 等靜壓壓制成型，最后進行燒結(jié)和加工得到鈦鋁合金靶材。該法制備的鈦鋁合金靶材具有致密度高、無氣 孔、無疏松和偏析、成分均勻、晶粒細小等特點。

3.熱壓燒結(jié)法 

該工藝使鈦鋁粉體在熱和力的共同 作用下燒結(jié)成型，利用Ti—Al混合物中鋁的熔點 低，將鈦粉粘結(jié)在一起，形成合金濺射靶材。熱壓 燒結(jié)示意圖如圖2所示。該法制備得到的合金靶材致密度高(≥95％)， 晶粒尺寸細小(≤100 微米)，成分均勻。用該工藝可 制備出不同成分的鈦鋁合金靶材。

產(chǎn)品：

鎳鐵合金靶材

鎳鉻合金靶材

鐵鈷合金靶材

鐵鈷鉭鋯合金靶

鈷鉭鋯合金靶材

銅鎵合金靶材

銅銦合金靶材

銅銦鎵合金靶材

鈦鋁合金靶材

鎂鋁合金靶材

鋁硼合金靶材

鋁銅合金靶材

鋁硅合金靶材

鋁釔合金靶材

鋁鉻合金靶材

鋁鐵合金靶材

鋁鈦合金靶材

鋁鈧合金靶材

鋁釩合金靶材

鋁鉻釔合金靶材

金鍺合金靶材

金銀合金靶材

金錫合金靶材

金鎳合金靶材

鋨銥合金靶材

鋨銥鋁合金靶材

鋨錸合金靶材

鋨鎢合金靶材

鋨釕合金靶材

銀銅合金靶材

銀金合金靶

銀錫合金靶材

銀銦合金靶材

銀鋅合金靶材

鈀銀合金靶材

鈀鐵合金靶材

金銅合金靶材

釕鈷鉻合金靶材

釕鉻鈦合金靶材

釕鉭合金靶材

鉑鈷合金靶材

鉑鎳合金靶材

鉑鐵合金靶材

銥錳合金靶材

小編：axc