中文字幕理论片,69视频免费在线观看,亚洲成人app,国产1级毛片,刘涛最大尺度戏视频,欧美亚洲美女视频,2021韩国美女仙女屋vip视频

先來個大流程圖，有個基本了解：

清洗工藝，我們之前的文章有講過，這個工序基本上不需要太強力的清潔單元（如HPMJ等）。

比如，EUV+BJ+普通噴淋+AK+烘干，即可。

        因為光刻膠是疏水性的，直接涂覆在親水性較好的膜層表面上時，光刻膠與基板表面的密著性較差，容易產(chǎn)生涂覆不均的現(xiàn)象。所以在涂覆之前，選擇性的涂覆HMDS（六甲基二硅氮烷）。

        為什么是選擇性涂覆，因為金屬膜層（Mo除外）是疏水性的，無需涂覆HMDS。

        一般有旋轉(zhuǎn)涂覆和狹縫（slit）涂覆兩種模式，不過現(xiàn)在基本都是Slit模式了。

下面介紹一下常見的Slit模式構(gòu)造：

①Coating head

狹縫式噴嘴，用于噴涂光刻膠；

②Interference detection bar

在涂覆時，如果平臺上有異物，有可能干擾甚至損壞噴嘴。

因此，使用干擾檢測單元監(jiān)視工作臺上的情況。如有異常，立刻停止；

③Panel thickness measurement sensor

涂覆前，測量玻璃厚度，根據(jù)測量數(shù)值，自動補正（非接觸式測量）。保證Head和玻璃平行；

④Head　washer nozzle

用于清洗涂覆噴嘴；

⑤Uniformer

涂覆前，Head在轉(zhuǎn)動的滾筒上預(yù)噴；

⑥Head height measurement sensor

涂覆過程中，測量并矯正，保證Head同Table水平；

⑦Panel detection sensor

通過橫向檢測，玻璃上下時，檢查有無破損；

組成：感光劑+酚醛樹脂+溶劑+添加劑；

光刻膠有正負之分，

正性光刻膠：光刻后的圖形與掩膜版相同圖形，保留未曝光部分。

負性光刻膠：光刻后的圖形與掩膜版相反圖形，保留曝光部分。