西漢武帝元封二年(前109),置於朁縣,屬丹陽郡,縣治即今浙江臨安市於潛鎮(zhèn)。東漢時改於朁為於潛。
南朝陳禎明元年(587),於潛改屬 錢唐郡。隋作於灊,屬杭州。
唐武德七年(624),于於潛縣置潛州,領於潛、臨水(臨安市城區(qū))兩縣;武德八年廢潛州,臨水縣并入於潛縣,仍屬杭州。
五代、北宋於潛縣屬杭州,南宋屬臨安府,元屬杭州路,明、清屬杭州府。
民國元年(1912)廢府,改省直轄。民國3年設道,屬錢塘道。民國16年廢道,又改省直轄。民國24年屬第一行政督察區(qū),民國27年至34年,為專署駐地。民國36年5月改省直轄,10月改屬第二行政督察區(qū),民國37年4月屬第一行政督察區(qū),8月屬第九行政督察區(qū)。
1949年5月29日,於潛縣解放,屬臨安專區(qū)。1953年臨安專區(qū)撤銷,改屬嘉興專區(qū)。1955年劃歸 建德專區(qū)。1958年11月并入昌化縣,屬 嘉興專區(qū)。
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