綠碳化硅微粉定義
綠碳化硅微粉是一種高純碳化硅研磨粉。它的硬度僅次于金剛石,并且在室溫下?lián)碛袃?yōu)異的化學穩(wěn)定性。綠碳化硅微粉有著很好的自銳性和優(yōu)異的研磨、拋光性能。近年來,隨著世界半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,作為傳統(tǒng)磨料的碳化硅,在單晶硅、多晶硅、壓電晶體等電子工程中的多線切割、研磨上得到了廣泛應用。它給碳化硅微粉行業(yè)提供了一個新的市場,并由于近年來光伏產(chǎn)業(yè)的興起及高速發(fā)展,使得碳化硅微粉在這個應用市場的需求量獲得更快的增長。
綠碳化硅微粉呈綠色,晶體結構,硬度高,切削能力較強,化學性質穩(wěn)定,導熱性能好。微觀形狀呈六方晶體,碳化硅的莫氏硬度為9.2,威氏顯微硬度為3000--3300公斤/毫米2,努普硬度為2670—2815公斤/毫米,顯微硬度3300千克每立方毫米。在磨料中高于剛玉而僅次于金剛石、立方氮化硼和碳化硼。密度一般認為是3.20克/毫米3,其碳化硅磨料的自然堆積密度在1.2--1.6克/毫米3之間,比重為3.20~3.25。綠碳化硅是以石油焦和優(yōu)質硅石為主要原料,添加食鹽作為添加劑,通過電阻爐高溫冶煉而成。其硬度介于剛玉和金剛石之間,機械強度高于剛玉。
綠碳化硅微粉行業(yè)發(fā)展歷程
碳化硅是由美國人艾奇遜在1891年電熔金剛石實驗時,在實驗室偶然發(fā)現(xiàn)的一種碳化物,當時誤認為是金剛石的混合體,故取名金剛砂,1893年艾奇遜研究出來了工業(yè)冶煉碳化硅的方法,也就是大家常說的艾奇遜爐,一直沿用至今,以碳質材料為爐芯體的電阻爐,通電加熱石英SIO2和碳的混合物生成碳化硅。
關于碳化硅的幾個事件
1905年 第一次在隕石中發(fā)現(xiàn)碳化硅
1907年 第一只碳化硅發(fā)光二極管誕生
1955年 理論和技術上重大突破,LELY提出生長高品質碳化概念從此將SIC作為重要的電子材料
1958年 在波士頓召開第一次世界碳化硅會議進行學術交流
1978年 六、七十年代碳化硅主要由前蘇聯(lián)進行研究。到1978年首次采用“LELY改進技術”的晶粒提純生長方法.
隨著高技術領域的迅猛發(fā)展,綠碳化硅微粉亦步入新的歷史發(fā)展時期。
綠碳化硅微粉分類情況
目前碳化硅微粉主要為1200#和1500#為主,由于碳化硅微粉主要用于磨料行業(yè),所以對微粉的分級有特殊要求,微粉中不能有大顆粒出現(xiàn),所以為達國際和國內產(chǎn)品要求,一般生產(chǎn)都采用JZF分級設備來進行高精分級。
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