LED襯底材料大全:
http://www.ledwn.com/sell/list-144.htmlLED襯底材料的概念、作用、種類及性能比較
概念:
襯底又稱基板,也有稱之為支撐襯底。
作用:
襯底主要是外延層生長的基板,在生產(chǎn)和制作過程中,起到支撐和固定的作用。且與外延層的特性配合要求比較嚴格,否則會影響力到外延層的生長或是芯片的品質(zhì)。
LED襯底材料的種類
目前市面上GaN基系列一般有三種材料可作為襯底:藍寶石(Al2O3);硅(Si);碳化硅(SiC)。
除了以上三種常用的襯底材料之外,還有GaAs、AlN、ZnO等材料也可作為襯底,通常根據(jù)設(shè)計的需要選擇使用。
通常,GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。
優(yōu)點:
藍寶石襯底的生產(chǎn)技術(shù)成熟、器件質(zhì)量較好
藍寶石的穩(wěn)定性很好能夠運用在高溫生長過程中
藍寶石的機械強度高,易于處理和清洗
缺點
晶格失配和熱應(yīng)力失配,導致外延層中產(chǎn)生大量缺陷,同時給后續(xù)的器件加工工藝造成困難;
藍寶石是絕緣體,電阻率大于1011Ω·cm,無法制作垂直結(jié)構(gòu)的器件;
在外延層上表面制作n型和p型電極,造成了有效發(fā)光面積減少,同時增加了器件制造中的光刻和刻藝過程,使材料利用率降低、成本增加;
藍寶石的硬度非常高,僅次于金剛石,需要的對它進行薄和切割,又增加一筆較大的投資;
藍寶石的導熱性能不是很好
2、硅襯底
硅襯底的芯片電極可采用兩種接觸方式,分別是L接觸(Lateral-contact , 水平接觸)和V接觸(Vertical-contact,垂直接觸),簡稱為L型電極和V型電極。
通過這兩種接觸方式,LED芯片內(nèi)部的電流可以是橫向流動的,也可以是縱向流動的。由于電流可以縱向流動,因此增大了LED的發(fā)光面積,從而提高了LED的出光效率。
因為硅是熱的良導體,所以器件的導熱性能可以明顯改善,從而延長了器件的壽命。
3、碳化硅襯底
SiC是IV-IV族二元化合物,也是元素周期表IV族元素中唯一的穩(wěn)定固態(tài)化合物,一種重要的半導體材料。
具有優(yōu)良的熱學、力學、化學和電學性質(zhì),不但是制作高溫、高頻、大功率電子器件的最佳材料之一,同時又可以用作基于GaN的藍色發(fā)光二極管的襯底材料。
帶寬隙半導體材料SiC所制功率器件可以承受更高電壓、更大電流、耗盡層可以做的更薄,因而工作速度更快,可使器件體積更小、重量更輕。
碳化硅襯底的導熱性能(碳化硅的導熱系數(shù)為490W/(m·K))要比藍寶石襯底高出10倍 以上;
使用碳化硅襯底的芯片電極為L型,兩個電極分布在器 件的表面和底部,所產(chǎn)生的熱量可以通過電極直接導出;同時這種襯底不需要電流擴散層,因此光不會被電流擴散層的材料吸收,這樣又提高了出光效率。
但是相對于藍寶石襯底而言,碳化硅制造成本較高,實現(xiàn)其商業(yè)化還需要降低相應(yīng)的成本。另外,SiC襯底吸收380納米以下的紫外光,不適合用來研發(fā)380納米以下的紫外LED。
4、氮化鎵
用于GaN生長的最理想襯底是GaN單晶材料,可以大大提高外延膜的晶體質(zhì)量,降低位錯密度,提高器件工作壽命,提高發(fā)光效率,提高器件工作電流密度。
但是制備GaN體單晶非常困難,到目前為止還未有行之有效的辦法。
5、氧化鋅
ZnO之所以能成為GaN外延的候選襯底,是因為兩者具有非常驚人的相似之處。兩者晶體結(jié)構(gòu)相同、晶格識別度非常小,禁帶寬度接近(能帶不連續(xù)值小,接觸勢壘?。?/div>
但是,ZnO作為GaN外延襯底的致命弱點是在GaN外延生長的溫度和氣氛中易分解和腐蝕。
目前,ZnO半導體材料尚不能用來制造光電子器件或高溫電子器件,主要是材料質(zhì)量達不到器件水平和P型摻雜問題沒有得到真正解決,適合ZnO基半導體材料生長的設(shè)備尚未研制成功。
6、襯底的性能比較
(1)藍寶石、硅和碳化硅三種襯底的性能比較
(2)用于氮化鎵生長的襯底材料性能優(yōu)劣比較
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